Φ85-系列折叠膜滤芯

单支更大的过滤面积和纳污量，可满足5-6代线120升/分钟流量需求。延长滤芯的使用时间，减少了滤芯的更换频率，降低成本。

高世代线高流量制程过滤、基板清洗过滤、化学药液过滤、高压水过滤。